一 “胡总工,你说的这些靠谱吗?”奚龙山有些激动又有些怀疑地问。
“是啊,上了双胶的厚度还了得!那还怎么保证流明度?”
“双胶曝光产生化学反应不会腐蚀硅片上的沉积吗?”
“对啊,抛开腐蚀性不谈,这是要用哪两种胶搭配啊?涂覆后又要怎么消除不同性质的胶层间的折射呢?”
“你还考虑涂覆后的问题呢!我看涂覆本身就是个大问题!这可不是做奶油蛋糕,厚点没关系,胶层可是零点几微米的厚薄,底胶刷上去后,二层胶体的涂覆均匀度怎么保证?涂覆厚薄如何控制?我们现在的上胶设备都是采用高速旋转涂覆工艺,这要是再刷二层胶,底胶肯定被刮破的不成样子了!”
“你们就只考虑光刻胶,我看胡总关于解决几何畸变的思路才是最难解决的工艺,这需要对每台光刻机的镜头分别实验,采集参数,再对镜头与硅片之间定位的标记点作不同的微调,这里面要花多少功夫啊。”
“是啊,现在用的硅片定位系统可做不到这么智能化的微调,按照胡总的思路,光刻机每次曝光都要根据曝光图形来微调定位标点,这简直太精密了,等于说硅片定位系统要搞一套全新的设计,才能满足需求。”
王选玉工程师有些激动地道:“胡总,你有没有这方面的论文?如果有的话为什么不发表啊?把你的思路详细说一说不可以吗?”
胡一亭道:“这些都是国际上最领先的工艺,哪可能写论文给大家白看白学啊!
而且从根子上来说,没有更好的光刻机支持,制程工艺的改进不过是一种强行提高制程的手段罢了,为的是最大限度的提高实验室制程下的良品率。”
顾峡生所长激动道:“可要是能把8微米光刻机下的实验线强行提升到35微米制程,并且提升流片良品率,这意义还了得啊!
这等于是帮助我们国家提前研发新一代制程下的ic设计工艺啊!这在以往可是只有西方少数巨型集成电路公司才会的技术。”
奚龙山也道:“是啊!哪怕是强行提升试验线路的制程和流片良品率,那也是了不起的技术突破!意义重大!
我听说在英特尔和德州仪器的实验室里,能用平级甚至低级制程设备做出领先世界最先进晶圆厂制程的下一代线宽,来作为ic设计实验线路使用,要是咱们国家也能做到这一点就好了,那样一来,也就不存在晶圆厂等ic设计的尴尬了!”
胡一亭笑道:“对,这就是实验线的积极意义所在,未来重光会大笔投资在制程工艺乃至制程设备的技术研发上,金额嘛,反正是天文数字!”
顾所长惊叹道:“我国在制程工艺上还比较落后,这也是改革开放以后长期缺少研发经费的缘故,像胡总说的这些新工艺,没钱根本就不可能立项研发。
胡总你肯往国家的科技短板进行大笔投资,真是好样的!我佩服你,这一点可比那些空手套白狼搞房地产的人强多了!”
奚龙山直截了当地问胡一亭:“胡总,你说的天文数字到底是多少?一百万?一千万?一亿?”
听了奚龙山的提问,大家也都关注地望着胡一亭,想听他说的明确些。
胡一亭见状,也不绕弯子了。
“上不封顶,持续投入,至少每年三亿人民币。”
在场所有人都惊呆了。
一年三个亿!
这在1996年绝对是天文数字,况且投的还是制程技术研发这样的无底洞,寻常人有这么多钱,早去干房地产了,3亿人民币足够在湖山这样的城市搞个大楼盘,甚至连银行贷款都不用借!
顾所连忙问:“全投在咱们所的实验线路上?”
胡一亭道:“实验线路改造的设备费估计就得有一个亿,虽然用的是国产设备相对便宜,但这点钱是必须的。
然后还要为设备改造下订单,订购一批我们重光自己设计的制程设备和精密部件,这预算我就先按一亿来花。
另外就是各项技改的科研经费,为了确保兵强马壮,一年投个一亿也不算多。
等到明年,虽然设备采购完成了,但各项技改项目也会进入花钱阶段,所以三亿预算还是能花掉的。
总之我们重光是下定决心要深深扎根ic产业的,不管投多少钱,投多少年,我们都要把中国集成电路制造业搞上去!
我这一辈子如果只让我干一件事,那就是这个!”
胡一亭的表态迎来了工程师们的如雷掌声。
奚龙山道:“看来我决定留下是对的,胡总,你可不要食言啊!待遇什么的过得去就行了,但科研经费一定要保证!只要肯砸钱,中国科研人员绝没有搞不出来的技术!”
王选玉也道:“既然胡总你是个真懂技术的人!我也留下来!
我始终觉得,中国的集成电路产业靠引进技术是走不通的!吃人家嚼过吐掉的渣滓,那是野狗,绝对胖不起来!
中国每年几十上百亿的买日本的二手装备,还不如把这钱投咱们自己的设备研发呢!
想当年,中国人靠自己的全套设备和技术,比西德还早一年成功复制8080处理器呢!集成电